В 1947 году в Кракове судили 40 сотрудников лагеря (в том числе и женщин). Комендант лагеря Артур Либехеншель и ещё 22 человека получили смертный приговор (двум подсудимым смертный приговор заменили на пожизненное заключение). Один подсудимый был оправдан, остальные получили сроки от 3 лет до пожизненного заключения. 24 января 1948 смертные приговоры были приведены в исполнение. В 1950-е получившие сроки были освобождены.
В 1953 году суд Оснабрюка приговорил к пожизненному тюремному заключению Бернхарда Ракерса. В 1971 году он был помилован немецким политиком Альфредом Кубелем. Умер в 1980 году.
С 1963 года по 1965 во Франкфурте состоялся суд, перед которым предстали 20 человек, служивших в лагере. Сам приговор почти никого не удовлетворил. Пятеро обвиняемых вышли из зала суда на свободу: троих оправдали, а двоих выпустили на том основании, что они уже отбыли достаточное наказание в следственном изоляторе. 6 подсудимых были приговорены к пожизненному, остальные получили сроки от 3 до 14 лет. В 1966 году во Франкфурте состоялся ещё один процесс. Йозеф Эрбер получил пожизненный срок, Вильгельм Бургер — 8 лет, Герхард Нойберт — 3,5 года. Эрбер был освобождён в 1986 году.
В 1972 году суд Вены оправдал Отто Графа и Франца Вунша.
В 1974 унтершарфюрер СС Алоис Фрей был оправдан. В 1976 году суд вынес оправдательный приговор Вилли Рудольфу Савацки.
В 1981 году к восьми годам тюрьмы был приговорён Йозеф Шмидт. Однако он не отбывал наказание, на том основании, что он отбыл свой срок, находясь в польском заключении. В 1989 к пожизненному заключению был приговорён Хорст Червински за убийство двоих человек. В 1993 он был освобождён.